深圳市皓榮光學(xué)科技有限公司
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產(chǎn)品介紹：
測(cè)量顯微鏡是同時(shí)具有高精度線(xiàn)性測(cè)量和觀(guān)察功能的多功能儀器。這使得測(cè)量顯微鏡可對(duì)諸多如半導(dǎo)體、顯示屏、微電子器件、精密汽車(chē)零件、注塑件、以及醫(yī)療器具等產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)檢測(cè)。測(cè)量顯微鏡還可輕易測(cè)量不能進(jìn)行接觸測(cè)量的易碎工件和需要用接觸探針測(cè)量的具有極小細(xì)節(jié)的工件。 測(cè)量顯微鏡所必備的重要要素是光學(xué)性能、總體精密、操作性的平衡。以前不可見(jiàn)或幾乎不可見(jiàn)的物體現(xiàn)在不僅可以觀(guān)察而且能被測(cè)量，用戶(hù)對(duì)測(cè)量顯微鏡性能的期待將持續(xù)增長(zhǎng)，而這些增長(zhǎng)是與操作簡(jiǎn)便、高測(cè)量能力以及對(duì)于此環(huán)境的適應(yīng)性相關(guān)聯(lián)的。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 更高的精度
● 數(shù)字成像和影響處理測(cè)量術(shù)
● 更大的載物臺(tái)提高了工件的處理能力
● 非接觸式Z軸高度測(cè)量
● 與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)協(xié)同工作
輔助對(duì)焦系統(tǒng)：
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到最低。
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● 分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）結(jié)構(gòu)
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● 分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）實(shí)例
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| 用于高反光的工件 | 用于低反光的工件 |
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | HR-8 | HR-12 | |
| 鏡筒 | 1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 | ||
| 觀(guān)察圖像 | 正像 | ||
| 觀(guān)測(cè)方法 | 輔助對(duì)焦系統(tǒng) | 頭部或照明器 FA系統(tǒng) | |
| 微分干涉對(duì)比 | 可選微分觀(guān)測(cè)對(duì)比 | ||
| 目鏡 | 10X(視場(chǎng)直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場(chǎng)直徑：22mm | ||
| 物鏡 | 95mm 2x，5x，10x，20x，50x（100x選配）或60mm 5x，10x，20x，50x，100x | ||
| 照明裝置 | 反射照明 | 內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 | |
| 透射照明 | 白色LED照明，無(wú)極亮度調(diào)節(jié) | ||
| 工作臺(tái) | XY測(cè)量范圍 | 200*150mm | 300*200mm |
| 快速釋放裝置 | X軸和Y軸（標(biāo)配） | ||
| 調(diào)零開(kāi)關(guān) | X軸和Y軸（標(biāo)配） | ||
| 數(shù)顯計(jì)器 | 顯示軸 | 2軸或3軸 | |
| 分辯率 | 0.001mm/0.0005mm/0.001mm（可轉(zhuǎn)換） | ||
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HR-8型主圖 | HR-12型主圖 |
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