深圳市皓榮光學(xué)科技有限公司
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產(chǎn)品介紹：
HR測(cè)量顯微鏡系列是觀(guān)察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿(mǎn)足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀(guān)察測(cè)量
● 各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀(guān)察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀(guān)察成像
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偏光觀(guān)察 觀(guān)察過(guò)濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀(guān)察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。 | 微分干涉對(duì)比觀(guān)察 在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。 |
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暗視場(chǎng)觀(guān)察 擋住直射到物體上的光，只觀(guān)察散射光，通過(guò)高對(duì)比度能觀(guān)察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。 | 亮視場(chǎng)觀(guān)察 最普通的觀(guān)察方式，直接觀(guān)察從工件表面反射的光。 |
新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到最低。
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| 對(duì)焦 | 前端對(duì)焦 | 后端對(duì)焦 |
規(guī)格
● 無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場(chǎng)WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長(zhǎng)度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測(cè)量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）在沒(méi)有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?/p>
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | HR-8Ⅰ型 | HR-8Ⅱ型 | HR-8 Ⅲ型 | HR-8Ⅳ型 | HR-12Ⅰ型 | HR-12Ⅱ型 | HR-12Ⅲ型 | HR-12Ⅳ型 | |
| 鏡筒 | 1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 | ||||||||
| 觀(guān)察圖像 | 正像 | ||||||||
| 觀(guān)測(cè)方法 | 輔助對(duì)焦系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) |
| 微分干涉對(duì)比 | 可選微分觀(guān)測(cè)對(duì)比 | ||||||||
| 目鏡 | 10X(視場(chǎng)直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場(chǎng)直徑：22mm | ||||||||
| 物鏡 | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配) | 60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配) | 60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配) | 60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x (100x選配) | 60mm 5x, 10x,20x, 50x,100x | |
| 照明裝置 | 反射照明 | 內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 | |||||||
| 透射照明 | 白色LED照明，無(wú)極亮度調(diào)節(jié) | ||||||||
| 工作臺(tái) | XY測(cè)量范圍 | 200*150 mm | 200*150 mm | 200*150 mm | 200*150 mm | 300*200 mm | 300*200 mm | 300*200 mm | 300*200 mm |
| 快速釋放裝置 | X軸和Y軸（標(biāo)配） | ||||||||
| 調(diào)零開(kāi)關(guān) | X軸和Y軸（標(biāo)配） | ||||||||
| 數(shù)顯計(jì)器 | 顯示軸 | 2軸或3軸 | |||||||
| 分辯率 | 0.001mm/0.0005mm/0.001mm（可轉(zhuǎn)換） | ||||||||
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